半導體(tǐ)生(shēng)産線成分測定工具

用于半導體(tǐ)薄膜的在線檢測及研發分析。作(zuò)爲無損檢測技術，EX-300給出元素成份、厚度、摻雜劑量、晶圓片成分分布圖和微區成分分布圖，用于縮短(duǎn)先進邏輯與存儲器件上市時間，同時實現高良率。主要針對新的難點生(shēng)産過程，例如(rú)結點小于32nm的SiGe和HKMG；監測低能量高濃度注入SiON、GST等。EX-300具有完全在線生(shēng)産能力：花樣識别可低至30x30μm pads、300mm晶片裝卸口、依據SEMI标準的自(zì)動化系統、産率每小時4-8晶片。